26立方三氯硅烷半掛車罐體材料為壓力容器專用鋼板，配備安全閥、溫度計、壓力表、緊急切斷閥、液位計等安全附件，行走部分搭配13噸BPW橋，JOST支腿，JOST牽引銷，雙錢胎，鋁合金輪轂，與一般液化氣半掛車最大的區別在于它的裝卸方式，由于三氯硅烷（又名三氯氫硅）是一種危害性較大的介質，只能采取從罐體上方裝入，從罐體下方卸出。

三氯硅烷半掛車屬于危險品運輸車，其營運還須找專業的物流公司掛靠。